|
|
 |
 |
|
|
|
| |
| |
| 真空贴合机 DH-12GVP15M-A |
| |
| 以2.8吋到15吋大小之TP及LCM为主，并完成二项产品之贴附组合。装置动作会先将LCM置放于下治具下层，人员将OCA保护膜撕离后，TP再置放于下治具上层，尔后启动设备当真空值达成之际，TP / LCM贴附组合随即完成。 |
|
|
|
 2. 基本规范
|
2. 基本规范
|
| 产 品 尺 寸 |
15吋以下 |
| 产 品 厚 度 |
厚度0.05mm ~ 3mm |
| 外 型 尺 寸 |
长2190 mm × 宽1320mm × 高1900 mm |
| 作 业 高 度 |
900mm ± 50mm |
| 洁 净 系 统 |
FFU-T15×1 |
| 机 台 骨 架 |
采铁质方管焊接加工及粉体涂装 |
| 机 台 外 观 |
采铝挤型主体PVC抗静电板包装 |
| 机 台 重 量 |
约900 kg |
|
|
装置规格-A. 下载台机构 2式
|
装置规格-A. 下载台机构 2式
|
| a. 移动方式 |
气缸带动 |
| b. 尺寸大小 |
540mm ×540mm |
| c. 定位方式 |
治具靠边定位或挡边定位 |
| d. 产品MAX |
15吋以下 |
|
|
装置规格-B. 真空腔体1式
|
装置规格-B. 真空腔体1式
|
| 腔体内部空间尺寸 |
470mm×470mm×147mm |
| 腔体窗口尺寸 |
398mm × 60mm |
| 真空腔体材质 |
采铝合金制以无电解镍处理。 |
|
|
装置规格-C. 真空抽气系统1式
|
装置规格-C. 真空抽气系统1式
|
| a. 厂牌 |
EDWARDS |
| b. 规格 |
GX600L |
| c. 尺寸(L ×W×H) |
693mm×280mm× 694mm |
| d. 重量 |
220kg |
|
|
装置规格-D. 贴附系统 1式
|
装置规格-D. 贴附系统 1式
|
| a. 上台面 |
1式 |
| b. 贴合方式 |
气缸带动上下 |
| c. 上台面尺寸 |
450mm×450mm |
| d. 贴合压力 |
1kg - 5kg |
| e. 贴合方法 |
真空腔体内整片平整按压 |
| f. 贴合行程 |
50mm |
|
|
装置规格-E. 视觉系统
|
装置规格-E. 视觉系统
|
| 影像系统 |
HI VISION 系统(四分割) |
| CCD镜头 |
WATE30万画素摄影机 |
| 镜头大小 |
100mm镜头 |
| 视野大小 |
11.2x8.6mm |
|
|
装置构成说明-A. 下载台及治具
|
装置构成说明-A. 下载台及治具
|
| a. 下载台 |
可更换2.8～15吋产品专用治具。 |
| b. 专用治具 |
采铝合金依产品规格制作。 |
| c. 下材料定位方式 |
人员依专用治具摆放定位。 |
|
|
装置构成说明-B. 真空抽气系统
|
装置构成说明-B. 真空抽气系统
|
| a. 腔体真空系统 |
采高真空PUMP底压可达5-3TORR以下，PUMP排气量10000L/min。上下吸附物不掉片或偏移且维持贴合精准度。须配备高精密数字压力表PARANI VACUUM GAUGE，GP-1000或同等级精密数字压力表，显示可达10-2TORR以下的真空度。 |
| b. 腔体真空阀 |
以气压引导启动真空阀门，配合真空节流阀调整真空值。 |
|
|
装置构成说明-C. 贴附系统
|
装置构成说明-C. 贴附系统
|
| a. 贴合方式 |
以真空PUMP产生真空避免贴合过程所产生气泡。 |
| b. 贴合压力 |
采高真空PUMP底压可达10-2TORR以下，再以真空节流阀调整贴附时真空压力。 |
|
|
5. UTILITY
|
5. UTILITY
|
| a. 电源 |
须为三相220V 50/60Hz 30A接至NFB一次侧。 |
| b. 气压源 |
主气源需5kg/cm2以上接至PM12隔板接头 |
| c. 排气 |
一般气体(pump):NW25*1。 |
| d. AIR消费量 |
10.1 L/min。 |
| e. 真空帮浦 |
冷却水温度: 20℃±5℃。 |
| f. CONTROLLER |
本设备采三菱系列控制系统 |
| g. 空压主控系统 |
本设备采SMC电磁阀 |
| h. 操作接口 |
人机界面 |
| i. 外观尺寸(L×W×H) |
长2190 mm × 宽1291 mm × 高1900 mm(不包括真空泵) |
| j. 设备重量 |
约900kg |
| k. Hepa Unit |
Class#100 |
| l. EDWARDSGX600L PUMP规格 |
电源3Ø220V 50/60Hz 14A; Water Cooling System; Maximum supply pressure ：5 KG; Minimum supply pressure ：2KG; Cooling-water supply ：10-30℃ |
|
|
|
|
| |
|
|