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灌液晶注入机 DH-91L04-A
 
DH-91L04-A
壹、 设备尺寸
壹、 设备尺寸
设备外观尺寸 L:1200mm W:1800mm H:1380mm
真空腔体内尺寸 L:925mm W:630mm H:280mm
贰、 真空性能
贰、 真空性能
使用压力范围 真空~大气压
到达真空度 5.0  10-3TORR以下
泄漏率 5  10-4 TORR L/sec以下
条件 真空槽,真空排气配管等不可有污染//真空帮浦正常运作之下//真空槽为空载状况下
参、 控制及空压系统
参、 控制及空压系统
电源 3Ø 380V AC
导入气体 N2之系统 2kg / cm2以上
压缩空气 5kg / cm2以上
PLC 三菱系统
电 源 请接至设备NFB一次测
额 定 电 流 20A
肆、 各部详细
肆、 各部详细
真空槽 材质 :SUS304//真空槽尺寸 :H600  W940  D740
窗口 材质 :强化玻璃//可视范围 :ψ100mm×2
真空阀门 形式 :气压闸门式//口径 :25N//材质 :SUS304制
腔内隔板 于各液晶盘与液晶盘之间加设方液晶飞溅cover*4
加热 电导入x2(一对电源一对温控)//电导入接头(2组)//加热板1000w(2片)//温度60度内//底板加厚为25t
真空排气系统
真空排气系统
1. 真气抽气 PUMP 形式    :VDN-601+NB-300A//终极压力 :7.5 10-4TORR//马达功率 :750W+2.2kw
陆、 气体导入系统
陆、 气体导入系统
注入阀 1 / 4PT
流量计
调整范围 0 ~ 100L / min( N2用)
柒、 控制系统
柒、 控制系统
程控器 三菱系统
人机界面 人机接口显示板(6吋)
操作方式 设定方式 :以人机接口设定各步骤之动作//自动运转 :启动键按下后以人机显示该步骤之动作//手动控制 :于手动画面页按下该组件启动
安全保护 压缩空气压力下降保护//电压过负载或断电保护//槽内正压防止保护
三色状态灯 显示现在状态
指示器系统 数位式真空计//形式 :GP-1000//测定范围 :5.010-3TORR//数字型真空表//显示范围 :空真表1 DP20 0~760mm / hg
 

 

 
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