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 壹、 设备尺寸
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壹、 设备尺寸
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| 设备外观尺寸 |
L:1200mm W:1800mm H:1380mm |
| 真空腔体内尺寸 |
L:925mm W:630mm H:280mm |
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贰、 真空性能
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贰、 真空性能
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| 使用压力范围 |
真空~大气压 |
| 到达真空度 |
5.0 10-3TORR以下 |
| 泄漏率 |
5 10-4 TORR L/sec以下 |
| 条件 |
真空槽，真空排气配管等不可有污染//真空帮浦正常运作之下//真空槽为空载状况下 |
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参、 控制及空压系统
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参、 控制及空压系统
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| 电源 |
3Ø 380V AC |
| 导入气体 |
N2之系统 2kg / cm2以上 |
| 压缩空气 |
5kg / cm2以上 |
| PLC |
三菱系统 |
| 电 源 |
请接至设备NFB一次测 |
| 额 定 电 流 |
20A |
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肆、 各部详细
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肆、 各部详细
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| 真空槽 |
材质 ：SUS304//真空槽尺寸 ：H600 W940 D740 |
| 窗口 |
材质 ：强化玻璃//可视范围 ：ψ100mm×2 |
| 真空阀门 |
形式 ：气压闸门式//口径 ：25N//材质 ：SUS304制 |
| 腔内隔板 |
于各液晶盘与液晶盘之间加设方液晶飞溅cover*4 |
| 加热 |
电导入x2(一对电源一对温控)//电导入接头(2组)//加热板1000w(2片)//温度60度内//底板加厚为25t |
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真空排气系统
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真空排气系统
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| 1. 真气抽气 PUMP |
形式 ：VDN-601+NB-300A//终极压力 ：7.5 10-4TORR//马达功率 ：750W+2.2kw |
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陆、 气体导入系统
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陆、 气体导入系统
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| 注入阀 |
1 / 4PT |
| 流量计 |
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| 调整范围 |
0 ~ 100L / min( N2用) |
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柒、 控制系统
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柒、 控制系统
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| 程控器 |
三菱系统 |
| 人机界面 |
人机接口显示板(6吋) |
| 操作方式 |
设定方式 ：以人机接口设定各步骤之动作//自动运转 ：启动键按下后以人机显示该步骤之动作//手动控制 ：于手动画面页按下该组件启动 |
| 安全保护 |
压缩空气压力下降保护//电压过负载或断电保护//槽内正压防止保护 |
| 三色状态灯 |
显示现在状态 |
| 指示器系统 |
数位式真空计//形式 ：GP-1000//测定范围 ：5.010-3TORR//数字型真空表//显示范围 ：空真表1 DP20 0~760mm / hg |
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