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| 真空贴附机 DH-97VPM12 |
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| 本装置是针对2.8吋到8吋硬对硬及软对软的贴附。将上方材料置放于上台面，再将下板材料置放于下台面上后，将保护膜撕离自动将上下材料组合完成。 |
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 装置构成
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装置构成
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| A. 本体机架，COVER |
1式 |
| B. 下载台及对位机构 |
1式 |
| C. 上片载台及对位系统 |
1式 |
| D. 真空抽气系统 |
2式 |
| E. 贴附系统 |
1式 |
| F. 机台包覆防尘机构 |
1式 |
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UTILITY
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UTILITY
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| 电 源 |
须为三相220V接至NFB一次侧。 |
| 气压源 |
主气源需6kg/cm2以上 接至PM12隔板接头。 |
| 真空源 |
设备自行以真空PUMP产生真空。 |
| 排 气 |
一般气体(pump):NW25*2 单一孔排气量需550L/min。 |
| 热排 |
ø160mm 12M³/min。 |
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本体机架，cover
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本体机架，cover
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| 1. |
设备上部安装抗静电cover,材质PCV半透明。 |
| 2. |
设备上部可开启部分安装door switch开启时设备动作立刻停止 |
| 3. |
贴片工作区上方安装FFU以达到工作区域洁净度为class 100。 |
| 4. |
设备于工作贴合区下方空间为集尘排出区域。 |
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下载台及对位机构
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下载台及对位机构
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| 下载台吸附范围 |
可吸附2.8～8吋产品。 |
| 下载台材质 |
采铝合金制以无电解镍处理。 |
| 下载台对位系统 |
采日制FAST视觉自动对位系统。 |
| 对位驱动方式 |
以伺服马达驱动X.Y1.Y2三轴位移对位。 |
| 位移驱动方式 |
以伺服马达驱动精密导螺杆位移。 |
| 下材料定位方式 |
人员靠边初步定位。 |
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上片载台及对位系统
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上片载台及对位系统
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| 上载台吸附范围 |
可吸附2.8～8吋产品。 |
| 上载台材质 |
采铝合金制以无电解镍处理。 |
| 上载台对位系统 |
采日制FAST视觉自动对位系统。 |
| 上材料定位方式 |
人员靠边初步定位。 |
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真空抽气系统
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真空抽气系统
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| 贴合区真空系统 |
采高真空PUMP底压可达-2次方TOOR以下，PUMP排气量550L/min。上下吸附物不掉片或偏移且维持贴合精准度。须配备高精密数字压力表PARANI VACUUM GAUGE,GP-1000或同等级精密数字压力表，显示可达-2次方TOOR以下的真空度。 |
| 吸附真空系统 |
采高真空PUMP底压可达-2次方TOOR以下，PUMP排 气量250L/min |
| 贴合区真空阀 |
以气压引导启动真空阀门，配合真空节流阀调整真空值。 |
| 吸附区真空阀 |
以电磁阀启动上或下台面真空吸附，配合真空节流阀调整真空值。 |
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贴附系统
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贴附系统
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| 贴附方式 |
以真空PUMP产生真空避免贴合过程所产生气泡。 |
| 贴附压力 |
采高真空PUMP底压可达-2次方TOOR以下，再以真空节流阀调整贴附时真空压力。 |
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机台包覆防尘机构
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机台包覆防尘机构
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于设备工作贴合区域，以抗静电PVC包覆整个区域并于上方加装FFU于所有导螺杆、滑轨及CCD调整机构部分安装防尘机构。 |
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