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 壹、 設備尺寸
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壹、 設備尺寸
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| 設備外觀尺寸 |
L:1200mm W:1800mm H:1380mm |
| 真空腔體內尺寸 |
L:925mm W:630mm H:280mm |
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貳、 真空性能
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貳、 真空性能
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| 使用壓力範圍 |
真空~大氣壓 |
| 到達真空度 |
5.0 10-3TORR以下 |
| 洩漏率 |
5 10-4 TORR L/sec以下 |
| 條件 |
真空槽，真空排氣配管等不可有汙染//真空幫浦正常運作之下//真空槽為空載狀況下 |
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參、 控制及空壓系統
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參、 控制及空壓系統
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| 電源 |
3Ø 380V AC |
| 導入氣體 |
N2之系統 2kg / cm2以上 |
| 壓縮空氣 |
5kg / cm2以上 |
| PLC |
三菱系統 |
| 電 源 |
請接至設備NFB一次測 |
| 額 定 電 流 |
20A |
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肆、 各部詳細
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肆、 各部詳細
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| 真空槽 |
材質 ：SUS304//真空槽尺寸 ：H600 W940 D740 |
| 視窗 |
材質 ：強化玻璃//可視範圍 ：ψ100mm×2 |
| 真空閥門 |
形式 ：氣壓閘門式//口徑 ：25N//材質 ：SUS304制 |
| 腔內隔板 |
於各液晶盤與液晶盤之間加設方液晶飛濺cover*4 |
| 加熱 |
電導入x2(一對電源一對溫控)//電導入接頭(2組)//加熱板1000w(2片)//溫度60度內//底板加厚為25t |
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真空排氣系統
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真空排氣系統
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| 1. 真氣抽氣 PUMP |
形式 ：VDN-601+NB-300A//終極壓力 ：7.5 10-4TORR//馬達功率 ：750W+2.2kw |
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陸、 氣體導入系統
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陸、 氣體導入系統
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| 注入閥 |
1 / 4PT |
| 流量計 |
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| 調整範圍 |
0 ~ 100L / min( N2用) |
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柒、 控制系統
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柒、 控制系統
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| 程式控制器 |
三菱系統 |
| 人機介面 |
人機介面顯示板(6吋) |
| 操作方式 |
設定方式 ：以人機介面設定各步驟之動作//自動運轉 ：啟動鍵按下後以人機顯示該步驟之動作//手動控制 ：於手動畫面頁按下該元件啟動 |
| 安全保護 |
壓縮空氣壓力下降保護//電壓過負載或斷電保護//槽內正壓防止保護 |
| 三色狀態燈 |
顯示現在狀態 |
| 指示器系統 |
數位式真空計//形式 ：GP-1000//測定範圍 ：5.010-3TORR//數字型真空表//顯示範圍 ：空真錶1 DP20 0~760mm / hg |
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