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| 真空貼合機 DH-12GVP15M-A |
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| 以2.8吋到15吋大小之TP及LCM為主，並完成二項產品之貼附組合。裝置動作會先將LCM置放於下治具下層，人員將OCA保護膜撕離後，TP再置放於下治具上層，爾後啟動設備當真空值達成之際，TP / LCM貼附組合隨即完成。 |
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 2. 基本規範
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2. 基本規範
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| 產 品 尺 寸 |
15吋以下 |
| 產 品 厚 度 |
厚度0.05mm ~ 3mm |
| 外 型 尺 寸 |
長2190 mm × 寬1320mm × 高1900 mm |
| 作 業 高 度 |
900mm ± 50mm |
| 潔 淨 系 統 |
FFU-T15×1 |
| 機 台 骨 架 |
採鐵質方管焊接加工及粉體塗裝 |
| 機 台 外 觀 |
採鋁擠型主體PVC抗靜電板包裝 |
| 機 台 重 量 |
約900 kg |
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裝置規格-A. 下載台機構 2式
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裝置規格-A. 下載台機構 2式
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| a. 移動方式 |
氣缸帶動 |
| b. 尺寸大小 |
540mm ×540mm |
| c. 定位方式 |
治具靠邊定位或擋邊定位 |
| d. 產品MAX |
15吋以下 |
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裝置規格-B. 真空腔體1式
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裝置規格-B. 真空腔體1式
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| 腔體內部空間尺寸 |
470mm×470mm×147mm |
| 腔體視窗尺寸 |
398mm × 60mm |
| 真空腔體材質 |
採鋁合金製以無電解鎳處理。 |
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裝置規格-C. 真空抽氣系統1式
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裝置規格-C. 真空抽氣系統1式
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| a. 廠牌 |
EDWARDS |
| b. 規格 |
GX600L |
| c. 尺寸(L ×W×H) |
693mm×280mm× 694mm |
| d. 重量 |
220kg |
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裝置規格-D. 貼附系統 1式
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裝置規格-D. 貼附系統 1式
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| a. 上檯面 |
1式 |
| b. 貼合方式 |
氣缸帶動上下 |
| c. 上檯面尺寸 |
450mm×450mm |
| d. 貼合壓力 |
1kg - 5kg |
| e. 貼合方法 |
真空腔體內整片平整按壓 |
| f. 貼合行程 |
50mm |
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裝置規格-E. 視覺系統
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裝置規格-E. 視覺系統
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| 影像系統 |
HI VISION 系統(四分割) |
| CCD鏡頭 |
WATE30萬畫素攝影機 |
| 鏡頭大小 |
100mm鏡頭 |
| 視野大小 |
11.2x8.6mm |
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裝置構成說明-A. 下載台及治具
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裝置構成說明-A. 下載台及治具
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| a. 下載台 |
可更換2.8～15吋產品專用治具。 |
| b. 專用治具 |
採鋁合金依產品規格製作。 |
| c. 下材料定位方式 |
人員依專用治具擺放定位。 |
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裝置構成說明-B. 真空抽氣系統
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裝置構成說明-B. 真空抽氣系統
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| a. 腔體真空系統 |
採高真空PUMP底壓可達5-3TORR以下，PUMP排氣量10000L/min。上下吸附物不掉片或偏移且維持貼合精準度。須配備高精密數位壓力錶PARANI VACUUM GAUGE，GP-1000或同等級精密數位壓力錶，顯示可達10-2TORR以下的真空度。 |
| b. 腔體真空閥 |
以氣壓引導啟動真空閥門，配合真空節流閥調整真空值。 |
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裝置構成說明-C. 貼附系統
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裝置構成說明-C. 貼附系統
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| a. 貼合方式 |
以真空PUMP產生真空避免貼合過程所產生氣泡。 |
| b. 貼合壓力 |
採高真空PUMP底壓可達10-2TORR以下，再以真空節流閥調整貼附時真空壓力。 |
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5. UTILITY
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5. UTILITY
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| a. 電源 |
須為三相220V 50/60Hz 30A接至NFB一次側。 |
| b. 氣壓源 |
主氣源需5kg/cm2以上接至PM12隔板接頭 |
| c. 排氣 |
一般氣體(pump):NW25*1。 |
| d. AIR消費量 |
10.1 L/min。 |
| e. 真空幫浦 |
冷卻水溫度: 20℃±5℃。 |
| f. CONTROLLER |
本設備採三菱系列控制系統 |
| g. 空壓主控系統 |
本設備採SMC電磁閥 |
| h. 操作介面 |
人機介面 |
| i. 外觀尺寸(L×W×H) |
長2190 mm × 寬1291 mm × 高1900 mm(不包括真空泵) |
| j. 設備重量 |
約900kg |
| k. Hepa Unit |
Class#100 |
| l. EDWARDSGX600L PUMP規格 |
電源3Ø220V 50/60Hz 14A; Water Cooling System; Maximum supply pressure ：5 KG; Minimum supply pressure ：2KG; Cooling-water supply ：10-30℃ |
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